MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro  Electromechanical  System),利用半导体制造工艺和材料,将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统,其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分:传感器和执行器。   	MEMS传感器市场  
  	2014年,全球MEMS传感器市场规模为130亿美元,据预计2015-2020年MEMS传感器市场将以13%年复合成长率增长,2020年将达到300亿美元。  
  	
  
  	图片来源:中国产业信息网 2017  
  	其中惯性传感器市场规模30亿美元,占总体MEMS整体行业规模23%,下游应用主要为消费电子和汽车,消费电子市场中MEMS传感器的终端客户一般是智能手机和平板。汽车一般有稳定的供应商合作关系,对产品质量和供应商的资质要求高。  
  	
  
  	图片来源:中国产业信息网 2017  
  	MEMS传感器供应链  
  	MEMS产业链类似于传统半导体产业,主要包括了四大部分:前端Fabless设计环节、ODM代工晶圆厂生产环节、封装测试到下游最终应用的四大环节。  
  	
  
  	图片来源:中国产业信息网  
  	MEMS传感器国内企业的主要分布  
  	中国的设计、制造、封装测试厂商都在积极布局MEMS,已形成完整MEMS的产业链。  
  	
  
  	图片来源:中国产业信息网  
  	长三角区域:  
  	以上海、无锡、南京为中心。  
  	逐渐形成包括热敏、磁敏、图像、称重、光电、温度、气敏等较为完备的传感器生产体系及产业配套。  
  	珠三角区域:  
  	以深圳中心城市为主。  
  	由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。  
  	东北地区:  
  	以沈阳、长春、哈尔滨为主。  
  	主要生产MEMS力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。  
  	京津区域:  
  	主要以高校为主。  
  	从事新型传感器的研发,在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。  
  	中部地区:  
  	以郑州、武汉、太原为主。  
  	产学研紧密结合的模式,在PTC/NTC热敏电阻、感应式数字液位传感器和气体传感器等产业方面发展态势良好。  
  	MEMS传感器全球供应商