过滤作用。为此，通过气体流量传感器对过滤网另一端气流速度的检测，从而能够在过滤网因吸附接近“饱和”，即因气流受阻使得通过气体流量传感器的流速低于了设定值时，能够及时发出报警提示信息，通知工作人员更换过滤网，以此保证净化器的工作效益。工采网提供的美国CONSENSIC气体质量流量传感器 - CAFS3000专有的MEMS流量传感器与封装技术。该传感器的测量范围是0~ 30 sccm到0 ~ 1000 sccm。每个模型的流量是通过专门设计的封装，以及智能电子产品，以便达到适宜的灵敏度。

该包装盒是由化学惰性和热稳定的聚碳酸酯材料制成的。压力等级较高是5BAR（73 PSI），受益于CONSENSIC独特的MEMS芯片结构、特殊包装技术和坚固耐用的传感器外壳。其次CAFS3000可用于广泛的应用范围包括仪器（如气相色谱质谱法）、泄漏检测、过程控制、气体流量计量以及医疗应用。CAFS3000需要8 ~ 24 VDC电源提供一个模拟和/或数字用户接口。模拟输出是线性的从1到5 VDC从0到满刻度流量相应。数字输出是通过RS485传输。RS485通信协议可以在本手册中找到。

气体质量流量传感器-CAFS3000框图:

能框图如下图所示。MEMS传感器芯片的传感器驱动电路供电和发送流量相关的电压转换器。微控制器处理英文字母表的第19个字母；

（放大、滤波等）将电压转换成流量。流量信号被发送通过模拟或模拟和数字格式（RS485）。