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适用于医疗设备的表压型MEMS压力传感器CPG,量程-100KPA~0KPA...700KPA,长期稳定性达0.2%F.S
来源: | 作者:consensic | 发布时间: 2024-05-31 | 372 次浏览 | 分享到:

        MEMS压力传感器是传感器行业中市场规模最大的细分市场之一,具有体积小、功耗低、价格便宜等优点。随着时代的发展及人们对健康的重视度提高,电子血压计、呼吸机、制氧机、雾化器、监护仪等开始走进用户家庭,并在健康保健方面发挥着重要的作用。其中的核心器件——MEMS压力传感器,其市场应用规模极大。



  在医疗器械领域,压力传感器在检测和响应身体内压力变化方面起着至关重,但在MEMS压力传感器实际设计及制造过程中,能够同时满足最优状态的设计结构和工艺较难达到。



  针对MEMS压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题,Con sen sic设计了一种可应用于医疗设备、量程从-100KPA~0KPA...700KPACPG表压压力传感器,该传感器的性能参数如下表:


参数

最小

典型

最大

单位

备注

供电电压

-

5

10

Vdc


供电电流

-

1

-

mAdc


量程

10、40、100、700

kPa


桥臂电阻

4.5

5

5.5


零偏

-15

0

+15

mV


 

满量程

输出

10kPa

18

23

28

mV


40Kpa

50

75

100

mV


100Kpa/700Kpa

80

100

120

mV


非线性

-

0.2

0.5

%FS


零点输出温度系数 TCO

-0.08

-0.03

0.08

%FS/℃

恒压模式

-0.08

-0.04

0.08

%FS/℃

恒流模式

满量程输出温度系数 TCS

-0.27

-0.22

-0.17

%FS/℃

恒压模式

-0.05

±0.02

0.05

%FS/℃

恒流模式

电阻温度系数

1500

2000

2500

ppm/℃


稳定性

0.2

%FS/Y


压力迟滞

-

0.05

0.1

%FS


过载压力

3×



工作温度

-40

-

125


储存温度

-40

-

150


如无特别说明,本表所有数值均在电压 5Vdc,温度 25±3℃的条件下测试


        

        CPG采用标准的SOPDIP形式封装,方便用户采用表面贴装式进行安装,尺寸小巧,适合在狭小的空间内实现高效检测功能,响应速度快,信号输出稳定。

应用领域广泛

CPG表压型系列压力传感器除可应用医疗设备外,还可用于以下场景:

.  汽车电子领域:TPMS 传感器、MAP 传感器、机油压力测试等