CAFS6000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。
   CAFS6000是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路（MCU）组成.集成的∆-ΣA/D转换器和具有内部校准功能的逻辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯方式，用户可以很方便的得到进行通信得到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。