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CAFS6002

   CAFS6000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作,适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制,独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量,确保高灵敏度,高可靠性,高稳定性和低成本。
   CAFS6000是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路(MCU)组成.集成的∆-ΣA/D转换器和具有内部校准功能的逻辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集,获得精确的流量信号,并在内部进行相应的补偿算法处理,因此无需再做任何外部校准补偿,就能确保高精度的流量输出;友好的数字化输出通讯方式,用户可以很方便的得到进行通信得到相应数据信息;产品应用范围十分广阔。

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   CAFS6000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作,适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制,独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量,确保高灵敏度,高可靠性,高稳定性和低成本。
   CAFS6000是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路(MCU)组成.集成的∆-ΣA/D转换器和具有内部校准功能的逻辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集,获得精确的流量信号,并在内部进行相应的补偿算法处理,因此无需再做任何外部校准补偿,就能确保高精度的流量输出;友好的数字化输出通讯方式,用户可以很方便的得到进行通信得到相应数据信息;产品应用范围十分广阔。

精度高(1.5%F.S精度)
■线性输出和无需温度补偿
■以最小的零漂保持长期稳定性
■固态传感核心(无表面空洞或易碎膜),抗堵塞和压力冲击
■模拟输出(1-5 V)(也可提供I2C数字输出)
■快速响应时间(6ms响应时间)
■流量范围宽 0sccm-12000sccm
■能够适应于相对潮湿性气体测量

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