CAFS3000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种清洁、相对干燥性微小流量气体的测量和过程控制使用，特殊的封装技术使得相同口径下的产品可以满足不同范围的流量测量，同时确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。产品应用十分广泛。
产品特点：
￭ 精度高（ 1.5％F.S精度）
￭ 线性输出和无需温度补偿
￭ 以最小的零漂保持长期稳定性
￭ 固态传感核心（无表面空洞戒易碎膜），抗堵塞和压力冲击
￭ 模拟输出（ 1-5 V）（也可提供I2C数字输出）
￭ 快速响应时间（ 1 ms响应时间）
￭ 流量范围宽 0sccm-2000sccm
￭ 能够适应于相对潮湿性气体测量
性能参数：
电器特性
测试条件：VIN=12±0.01VDC，Ta=25°C。相对湿度：40％<相对湿度<60％
最大工作温度范围-25°C至+85°C
规格
CAFS3000
最小值
正常值
最大值
单位
备注
流量范围
0
—
2000
sccm
可定制
供电电压
8
12
24
V
电流
20
15
mA
最大电压输出
4.94
5
5.02
零点电压输出
0.98
1
1.02
精度
1.5
2
%FS
耐压
0.3
MPa
分辨率
0.1
%
全量程
响应时间
30
ms
零点漂移
0.2
%Year
温度漂移
4
0℃-50℃
整体材质
碳化硅，环氧树脂，聚苯硫醚，FR4，硅作为密封材料
外形尺寸：
1、3针输出方式（模拟电压输出）
2、5针输出方式（模拟电压输出和I2C数字通信）
产品应用：
￭ 制氧机
￭ 防毒面罩和呼吸器
￭ 喷雾器
￭ 持续气道正压通气（CPAP）设备
￭ 麻醉分娩
￭ 检漏
￭ 光谱仪
￭ 质量流量控制器
￭ 通讯系统
￭ 环境气候控制
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