MFC900系列质量流量控制器是采用业界先进的高质量微机电（MEMS）流量传感器芯片，结合高速数字处理技术和工业设计所开发的一款智能化、高精度的气体流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量传感器芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点，使其可以适用于燃气、石油、化工、能源、医院等多个领域。此系列产品的量程从100SCCM到10000SCCM内可选，典型精度为1%，输出信号类型包括：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485数字通信方式。
产品特点：
￭ 高可靠性，高灵敏度；￭ 设计紧凑，易于安装；￭ 高精度及优越的零点稳定性;￭ 超快的响应时间及稳定时间；￭ 良好的重复性和再现性;￭ 宽电压输入，多种信号输出方式；￭ 配备高端进口比例电磁阀。
性能参数：
功能项
MFC900系列气体质量流量控制器
性能参数
单位
备注
规格
50,100,200,500,800,1000SCCM; 2,5,8,10,12SLPM
量程比
100:1
供电电源
7~24VDC,100mA
VDC
可定制
精度
±1.0
%FS
重复性
0.25
%
响应时间
67（默认）
ms
最大压力
1.0
MPa
通讯方式
RS485(MODBUS)
输出方式
输出0.5-4.5
LoRa
选配
显示方式
瞬时流量：SLPM; 累计流量：SL
温度
介质温度(-10~65), 环境温度(-25~85)
℃
工作湿度
<100%RH(无结冰、无凝露)
重量
0.295
kg
接口
NPT1/8”
接头
可选配
阀类型
常闭
校准条件
空气, 20℃, 101.325kPa
外形尺寸：
产品应用：
￭ 工业
￭ 医疗
￭ 石油
￭ 仪器仪表
￭ 实验室
￭ 燃气
￭ 化工
￭ 冶炼
￭ 食品加工
￭ 机电设备
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